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氦气气体纯化技术

2020-02-05

氦气气体纯化技术氦气是一种稀缺的战略资源，尤其在我国，氦气资源极其匮乏，几乎全部依赖进口。但氦气用途非常广泛，是军事侦察用飞艇及工业光纤、半导体、空调、焊接等高端制造领域的重要资源。2017年卡塔尔外交塌方事件又一次重创了全球氦气的正常供给

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半导体工艺气体纯化新科技

2020-02-04

半导体工艺气体纯化新科技半导体器件变得越来越小，几何结构越来越复杂，使用的材料越来越多，给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在，即使气体供应中有微量污染物，也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此，工艺

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电子特气气体纯化的影响因素

2020-02-03

电子特气气体纯化的影响因素1）气体的分离和提纯。电子特气的分离和提纯方法原理上可分为精馏分离、分子筛吸附分离以及膜分离三大类，在实际提纯分离过程中，为了达到更好的分离效率，往往会利用多种分离方法进行组合，工艺更为复杂。2）气体杂质检测和监控

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气体纯化分类及生产工序

2020-02-02

气体纯化分类及生产工序特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉

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气体纯化的变压吸附技术介绍

2020-02-01

气体纯化的变压吸附技术介绍1．什么叫吸附？当气体分子运动到固体表面上时，由于固体表面原子剩余引力的作用，气体中的一些分子便会暂时停留在固体表面上，这些分子在固体表面上的浓度增大，这种现象称为气体分子在固体表面上的吸附。吸附物质的固体称为吸附

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