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气体纯化厂家简述制氮机的技术特点
2022-04-25
气体纯化厂家简述制氮机的技术特点众所周知,制氮机,是指以空气为原料,利用物理方法将其中的氧和氮分离而获得氮气的设备。工业上应用的制氮机,根据分类方法的不同,可以分为三种,即深冷空分法、分子筛空分法(PSA)和膜空分法。制氮机因为它独特的技术
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气体纯化厂家介绍氩气净化机工作原理
2022-04-25
气体纯化厂家介绍氩气净化机工作原理氩气纯化耗材选用高温金属合金吸气剂,它的表面会和一些杂质如氧,CH4等反应。而且在高温下(300-700度)这些杂质会从表面扩散到材料内部从而保持表面和新的杂质的反应能力,工艺解决的困惑。延长了设备耗材的使
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气体纯化的生产工序
2022-02-21
气体纯化的生产工序特种气体的分类方式很多种,例如按照气体本身化学成分可分为:硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积(
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如何进行气体纯化
2022-01-07
如何进行气体纯化工业上大规模生产氧气广泛采用液态空气分馏法。首先使空气通过过滤器除去尘埃等固体杂质,进入压缩机压缩,再经过分子筛净化器除去水蒸气和二氧化碳等杂质气体。在这里分子筛可使氮气、氧气等较小分子通过,起到筛选分子的作用。然后进行冷却
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氩气气体纯化的方法
2021-12-19
氩气气体纯化的方法一、概述氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气体,为了提高硅晶体的质量,如何选用较高纯度的氩气,是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用,氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时,水分也小于1ppm时,制作出的单晶硅其氧碳含量就小
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气体纯化新科技介绍
2021-11-07
气体纯化新科技介绍半导体器件变得越来越小,几何结构越来越复杂,使用的材料越来越多,给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在,即使气体供应中有微量污染物,也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此,工艺气体净
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