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高纯氩气气体纯化方法

2020-02-09

高纯氩气气体纯化方法一、概述氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气体，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用，氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时，水分也小于1ppm时，制作出的单晶硅其氧碳含量就

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分子筛在气体纯化系统中的应用

2020-02-08

分子筛在气体纯化系统中的应用空分设备中,分子筛纯化系统设置在空气预冷系统之后。被压缩的空气经过空气预冷系统冷却后,空气中的水分、二氧化碳、乙炔和其他碳氢化合物等仍然存在。如果空气不经纯化处理,被冻结下来的水分和二氧化碳沉积在低温换热器、透平

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氦气气体纯化适用范围

2020-02-06

氦气气体纯化适用范围氦主要用于医疗、军工、制冷、半导体、管道检漏、高精度焊接、金属制造、深海潜水、光电子产品生产、气球载、科研、军事等领域。下面结合氦资源主要应用对氦资源用户进行分析。（1）核磁共振（低温超导）领域核磁共振成像仪（MRI）采

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半导体工艺气体纯化新科技

2020-02-04

半导体工艺气体纯化新科技半导体器件变得越来越小，几何结构越来越复杂，使用的材料越来越多，给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在，即使气体供应中有微量污染物，也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此，工艺

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气体纯化分类及生产工序

2020-02-02

气体纯化分类及生产工序特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉

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