核磁共振成像仪(MRI)采用低温超导磁体技术需液氦进行冷却,据统计,核磁共振成像仪占了全球氦气用量的34%,是终端使用行业。梅州纯化虽然在发达国家核磁共振成像仪的需求量正在减少,但是发展中国家的需求量仍然强劲增长,从而保持了液氦的需求旺盛。供应纯化氦气主要用于冷凝器、蒸发器、管道系统的检漏。
纯化价格首先使空气通过过滤器除去尘埃等固体杂质,进入压缩机压缩,再经过分子筛净化器除去水蒸气和二氧化碳等杂质气体。在这里分子筛可使氮气、氧气等较小分子通过,起到筛选分子的作用。然后进行冷却、降压,当温度降至—170℃左右时,供应纯化空气开始部分液化进入精馏塔,根据空气中各气体的不同沸点进行分馏。液态氧的沸点比液态氮的沸点高,两者相比液氮更易气化。经多步分馏可以得到99%以上的纯氧,同时得到氮气和提取稀有气体的原料。
半导体器件变得越来越小,几何结构越来越复杂,使用的材料越来越多,给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在,即使气体供应中有微量污染物,也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此,工艺气体净化显的日益重要。梅州纯化气体和化学品的纯度在先进半导体和存储设备的性能和可靠性方面发挥着重要作用。纯化价格为了保持竞争力,许多半导体制造商提高了产量,从而增加了气体的总消耗量。因此,对污染物采取必要的净化措施势在必行。
梅州纯化常用方法是低温,冷凝法。此外,在设备研制过程中还采用了大量低温领域的新技术,包括高压氦气压缩机的减振、耐低温高压紫铜管道特种焊接技术、低温高压活接密封技术等,以优化产品。纯化价格在此基础上,通过在膜分离法提纯技术上取得突破,通过复合提纯分离方法,将纯度≥10%的低纯氦气提纯至99.5%以上,系统纯化回收率≥60%。
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