①如果混入了氯化氢气体:供应纯化将气体通过饱和碳酸氢钠溶液,使碳酸氢钠和盐酸反应,生成二氧化碳。②如果混入了二氧化硫:最简单的方法是低温分馏,二氧化硫的沸点高,可将它们分离。③如果混入了一氧化碳:纯化厂家可以让混合气通过灼热的氧化铜,利用一氧化碳的还原性,还原氧化铜后生成二氧化碳。
中山纯化就是使用活性金属与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸收掉氩气中的水份,使氩气的含水量小于1ppm。供应纯化采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后,氩气的纯度可达到6个九,这种保护气体更适用于制作高纯度的半导体的单晶硅。
氦气的密度为0.1786g/L,而氮气为1.251 g/L,氦气和氮气相比自然是氦气更轻,所以我们可以使用氦气作为飞行器的填充气体,供应纯化除了氢气之外也就是氦气能够飘浮在天空。不过如果只是为安全考虑,并不需要考虑能否漂浮的话,中山纯化的工业氦气和氮气都可以充装气球,并且氮气更加经济实惠。此外氦气的沸点是已知所有物质中低的,所以尽管氦气和氮气能够制冷,但是制冷效果肯定是氦气更佳!而实际情况是液氦是许多超低温物理实验中无法替代的制冷剂,而氮气制冷则通常用在液氮快速挥发的过程中,大量吸收热量,从而有了快速制冷效果,但是气态氮气不具备制冷能力。
电子特气的分离和提纯方法原理上可分为精馏分离、分子筛吸附分离以及膜分离三大类,在实际提纯分离过程中,为了达到更好的分离效率,中山纯化往往会利用多种分离方法进行组合,工艺更为复杂。纯化厂家随着电子特气的纯度越来越高,对分析检测方法和仪器提出了更高的要求,检测限从最早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line),原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析,国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测,因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。
分子筛纯化系统完成吸附杂质、净化空气是通过吸附剂来实现的。纯化厂家在分子筛吸附器内的吸附床上充填的吸附剂主要为沸石分子筛和活性氧化铝,其中活性氧化铝主要是吸收水分,中山纯化分子筛吸附二氧化碳和乙炔等烃类杂质。在相对湿度100%(即饱和) 的空气中,活性氧化铝的吸湿性能更优于分子筛。在纯化器的吸附床下层用活性氧化铝吸附饱和空气中的水分后,待水气的浓度在氧化铝处降低后,再利用上层的分子筛进行深度吸附。分子筛吸附器净化程度可达出口空气露点及二氧化碳含量的工程指标。
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