电子特气的分离和提纯方法原理上可分为精馏分离、分子筛吸附分离以及膜分离三大类,在实际提纯分离过程中,为了达到更好的分离效率,惠州纯化设备往往会利用多种分离方法进行组合,工艺更为复杂。纯化设备厂家随着电子特气的纯度越来越高,对分析检测方法和仪器提出了更高的要求,检测限从最早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line),原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析,国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测,因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。
现代技术重视在工业及常用设备上的创新与进步。像是现代运用物理办法将空气中的氧气分离出来,而取得氮气的设备制氮机,制氮机首要分为三种,分别是深冷空分法、分子筛空分法(PSA)和膜空分法。惠州纯化设备控制阀是空分设备非常常用的终端控制元件,如压缩机的导叶、胀大机的喷嘴等。推荐纯化设备控制阀由阀体、阀内件、供应阀门驱动力的执行机构以及林林总总的阀门附件所组成。典型的阀门附件由电气阀门定位器、电磁阀、限位开关和过滤减压阀等组成,为了控制阀门的照料时间,有的还需加上增速器、阻尼器和快速排放阀等附件。
惠州纯化设备常用方法是低温,冷凝法。此外,在设备研制过程中还采用了大量低温领域的新技术,包括高压氦气压缩机的减振、耐低温高压紫铜管道特种焊接技术、低温高压活接密封技术等,以优化产品。纯化设备厂家在此基础上,通过在膜分离法提纯技术上取得突破,通过复合提纯分离方法,将纯度≥10%的低纯氦气提纯至99.5%以上,系统纯化回收率≥60%。
由于一般液氩汽化后未经过纯化处理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围,使用氩气的客户不知道其质量,所以往往给生产产品质量造成影响。推荐纯化设备有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何,纯化设备厂家只要经过纯化装置的处理后,进入拉晶炉的氩气,纯度始终是恒定的。
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