当气体分子运动到固体表面上时,由于固体表面原子剩余引力的作用,气体中的一些分子便会暂时停留在固体表面上,这些分子在固体表面上的浓度增大,这种现象称为气体分子在固体表面上的吸附。衢州气体提纯吸附物质的固体称为吸附剂,被吸附的物质称为吸附质。气体提纯厂家按吸附质与吸附剂之间引力场的性质,吸附可分为化学吸附和物理吸附。化学吸附:即吸附过程伴随有化学反应的吸附。在化学吸附中,吸附质分子和吸附剂表面将发生反应生成表面络合物,其吸附热接近化学反应热。化学吸附需要一定的活化能才能进行。通常条件下,化学吸附的吸附或解吸速度都要比物理吸附慢。石灰石吸附氯气,沸石吸附乙烯都是化学吸附。
半导体器件变得越来越小,几何结构越来越复杂,使用的材料越来越多,给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在,即使气体供应中有微量污染物,也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此,工艺气体净化显的日益重要。衢州气体提纯气体和化学品的纯度在先进半导体和存储设备的性能和可靠性方面发挥着重要作用。气体提纯厂家为了保持竞争力,许多半导体制造商提高了产量,从而增加了气体的总消耗量。因此,对污染物采取必要的净化措施势在必行。
分子筛纯化系统完成吸附杂质、净化空气是通过吸附剂来实现的。气体提纯厂家在分子筛吸附器内的吸附床上充填的吸附剂主要为沸石分子筛和活性氧化铝,其中活性氧化铝主要是吸收水分,衢州气体提纯分子筛吸附二氧化碳和乙炔等烃类杂质。在相对湿度100%(即饱和) 的空气中,活性氧化铝的吸湿性能更优于分子筛。在纯化器的吸附床下层用活性氧化铝吸附饱和空气中的水分后,待水气的浓度在氧化铝处降低后,再利用上层的分子筛进行深度吸附。分子筛吸附器净化程度可达出口空气露点及二氧化碳含量的工程指标。
①如果混入了氯化氢气体:供应气体提纯将气体通过饱和碳酸氢钠溶液,使碳酸氢钠和盐酸反应,生成二氧化碳。②如果混入了二氧化硫:最简单的方法是低温分馏,二氧化硫的沸点高,可将它们分离。③如果混入了一氧化碳:气体提纯厂家可以让混合气通过灼热的氧化铜,利用一氧化碳的还原性,还原氧化铜后生成二氧化碳。
氧化铝对空气中的酸性组分( 例如SO2、NO2、Hcl等)部分可以吸附,而这些酸性组分对分子筛是有害的,因为它可以和分子筛吸附的水分生成酸,使分子筛的晶格受到破坏,即分子筛中毒,衢州气体提纯损分子筛对水较氧化铝有较强的亲合力,因而解吸时消耗的能量要多;用氧化铝来去除水,可降低再生能耗。害了分子筛的性能。气体提纯厂家采用双层床后,预先用氧化铝将水吸附,这就对分子筛起了良好的保护作用,延长分子筛的使用寿命。
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