由于一般液氩汽化后未经过纯化处理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围,使用氩气的客户不知道其质量,所以往往给生产产品质量造成影响。供应纯化设备有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何,纯化设备公司只要经过纯化装置的处理后,进入拉晶炉的氩气,纯度始终是恒定的。
空分设备中,分子筛纯化系统设置在空气预冷系统之后。被压缩的空气经过空气预冷系统冷却后,空气中的水分、二氧化碳、乙炔和其他碳氢化合物等仍然存在。纯化设备公司如果空气不经纯化处理,被冻结下来的水分和二氧化碳沉积在低温换热器、透平膨胀机或精馏塔里,就会堵塞通道、管路和阀门,乙炔积聚在液氧中更有爆炸的危险。供应纯化设备作用就是清除空气中所含的水分、乙炔、二氧化碳、丙烯和丁烯等杂质,从而保证空分设备长期安全、可靠的运行。
半导体器件变得越来越小,几何结构越来越复杂,使用的材料越来越多,给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在,即使气体供应中有微量污染物,也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此,工艺气体净化显的日益重要。威海纯化设备气体和化学品的纯度在先进半导体和存储设备的性能和可靠性方面发挥着重要作用。纯化设备公司为了保持竞争力,许多半导体制造商提高了产量,从而增加了气体的总消耗量。因此,对污染物采取必要的净化措施势在必行。
威海纯化设备常用方法是低温,冷凝法。此外,在设备研制过程中还采用了大量低温领域的新技术,包括高压氦气压缩机的减振、耐低温高压紫铜管道特种焊接技术、低温高压活接密封技术等,以优化产品。纯化设备公司在此基础上,通过在膜分离法提纯技术上取得突破,通过复合提纯分离方法,将纯度≥10%的低纯氦气提纯至99.5%以上,系统纯化回收率≥60%。
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