半导体器件变得越来越小,几何结构越来越复杂,使用的材料越来越多,给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在,即使气体供应中有微量污染物,也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此,工艺气体净化显的日益重要。南通纯化气体和化学品的纯度在先进半导体和存储设备的性能和可靠性方面发挥着重要作用。纯化厂家为了保持竞争力,许多半导体制造商提高了产量,从而增加了气体的总消耗量。因此,对污染物采取必要的净化措施势在必行。
南通纯化催化剂:可以催化H2,CO,烃类等还原性气体与O2结合生成水和CO2,一般用在杂质含量较高时,预处理掉大量的杂质。脱氧吸附剂:可以以化学反应的方式去除掉O2,以物理吸附方式去除掉水和CO2。一般经此工序后产气的纯度已经足够使用了。推荐纯化吸气剂:吸气剂可以去除掉除了氩气,氦气等惰性气体以外的所有气体。(有些特制吸气剂也不会吸收H2)主要针对N2,CH4等。
食品接触空气容易氧化。食品的氧化不仅仅导致食品口感的下降,更重要的是,推荐纯化会导致食品的腐烂。有效的防腐措施,一直是食品工业中的重点。氮气在啤酒的生产中有效的降低了溶解氧(DO),南通纯化减缓了啤酒的变质,延长了啤酒的贮存期,同时不破坏就中的芳香物质,大大的提升了啤酒的品质;在食品包装方面,由于氮气的性质稳定,一般利用氮气来排斥氧气,从而减缓食品的氧化作用和呼吸作用,同时氮气对细菌生长也起到一定的抑制作用。
电子特气的分离和提纯方法原理上可分为精馏分离、分子筛吸附分离以及膜分离三大类,在实际提纯分离过程中,为了达到更好的分离效率,南通纯化往往会利用多种分离方法进行组合,工艺更为复杂。纯化厂家随着电子特气的纯度越来越高,对分析检测方法和仪器提出了更高的要求,检测限从最早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line),原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析,国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测,因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。
①如果混入了氯化氢气体:推荐纯化将气体通过饱和碳酸氢钠溶液,使碳酸氢钠和盐酸反应,生成二氧化碳。②如果混入了二氧化硫:最简单的方法是低温分馏,二氧化硫的沸点高,可将它们分离。③如果混入了一氧化碳:纯化厂家可以让混合气通过灼热的氧化铜,利用一氧化碳的还原性,还原氧化铜后生成二氧化碳。
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