半导体器件变得越来越小,几何结构越来越复杂,使用的材料越来越多,给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在,即使气体供应中有微量污染物,也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此,工艺气体净化显的日益重要。烟台纯化设备气体和化学品的纯度在先进半导体和存储设备的性能和可靠性方面发挥着重要作用。纯化设备价格为了保持竞争力,许多半导体制造商提高了产量,从而增加了气体的总消耗量。因此,对污染物采取必要的净化措施势在必行。
氦气的生物学效应是非常让人吃惊的现象,由于在半个多世纪以来,人们一贯将这种气体用在潜水作业过程中,由于空气中的氮气的麻醉作用,呼吸空气潜水深度不能超过60米,这大大满足了潜水对深度的需求,由于氦气几乎没有任何麻醉作用,并且分子量小,呼吸阻力小。纯化设备价格功效体现在潜水这一方面,烟台纯化设备特别是在进行大深度潜水中具有特别要害的作用,我们乃至可以说没有氦气,就没有现代大深度潜水技术。
核磁共振成像仪(MRI)采用低温超导磁体技术需液氦进行冷却,据统计,核磁共振成像仪占了全球氦气用量的34%,是终端使用行业。烟台纯化设备虽然在发达国家核磁共振成像仪的需求量正在减少,但是发展中国家的需求量仍然强劲增长,从而保持了液氦的需求旺盛。供应纯化设备氦气主要用于冷凝器、蒸发器、管道系统的检漏。
氦气提纯是一项国际前沿研究领域,采用的方法有低温冷凝、膜分离、变压吸附、化学吸附等方法。我国企业在低温研究的基础上,突破低温冷凝分离法的研究技术瓶颈,开发工业氦气膜分离提纯技术和设备,纯化设备价格与国际巨头在氦气提纯技术和设备方面展开竞争,并积极研究膜分离+低温分离的复合氦气分离方法,烟台纯化设备结合膜分离高效性和低温分离高回收率和高纯度的特点,将氦气首先经过膜分离技术进行粗提纯,然后采用低温分离技术进行精提纯,满足工业领域节能与高纯的多重需要。
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