半导体器件变得越来越小,几何结构越来越复杂,使用的材料越来越多,给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在,即使气体供应中有微量污染物,也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此,工艺气体净化显的日益重要。滁州氮气纯化设备气体和化学品的纯度在先进半导体和存储设备的性能和可靠性方面发挥着重要作用。氮气纯化设备公司为了保持竞争力,许多半导体制造商提高了产量,从而增加了气体的总消耗量。因此,对污染物采取必要的净化措施势在必行。
滁州氮气纯化设备就是使用活性金属与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸收掉氩气中的水份,使氩气的含水量小于1ppm。推荐氮气纯化设备采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后,氩气的纯度可达到6个九,这种保护气体更适用于制作高纯度的半导体的单晶硅。
滁州氮气纯化设备催化剂:可以催化H2,CO,烃类等还原性气体与O2结合生成水和CO2,一般用在杂质含量较高时,预处理掉大量的杂质。脱氧吸附剂:可以以化学反应的方式去除掉O2,以物理吸附方式去除掉水和CO2。一般经此工序后产气的纯度已经足够使用了。推荐氮气纯化设备吸气剂:吸气剂可以去除掉除了氩气,氦气等惰性气体以外的所有气体。(有些特制吸气剂也不会吸收H2)主要针对N2,CH4等。
空分设备中,分子筛纯化系统设置在空气预冷系统之后。被压缩的空气经过空气预冷系统冷却后,空气中的水分、二氧化碳、乙炔和其他碳氢化合物等仍然存在。氮气纯化设备公司如果空气不经纯化处理,被冻结下来的水分和二氧化碳沉积在低温换热器、透平膨胀机或精馏塔里,就会堵塞通道、管路和阀门,乙炔积聚在液氧中更有爆炸的危险。推荐氮气纯化设备作用就是清除空气中所含的水分、乙炔、二氧化碳、丙烯和丁烯等杂质,从而保证空分设备长期安全、可靠的运行。
当气体分子运动到固体表面上时,由于固体表面原子剩余引力的作用,气体中的一些分子便会暂时停留在固体表面上,这些分子在固体表面上的浓度增大,这种现象称为气体分子在固体表面上的吸附。滁州氮气纯化设备吸附物质的固体称为吸附剂,被吸附的物质称为吸附质。氮气纯化设备公司按吸附质与吸附剂之间引力场的性质,吸附可分为化学吸附和物理吸附。化学吸附:即吸附过程伴随有化学反应的吸附。在化学吸附中,吸附质分子和吸附剂表面将发生反应生成表面络合物,其吸附热接近化学反应热。化学吸附需要一定的活化能才能进行。通常条件下,化学吸附的吸附或解吸速度都要比物理吸附慢。石灰石吸附氯气,沸石吸附乙烯都是化学吸附。
氦气怎么检漏,氦气检漏就是利用了氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的氦气。推荐氮气纯化设备检测时首先探测到氦气的露点,得到氦气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、C02气体等杂质。氮气纯化设备公司氦检漏有两种工艺,一种是背压法,另一种则是真空箱法。
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