山东供应气体提纯设备公司

半导体器件变得越来越小，几何结构越来越复杂，使用的材料越来越多，给工艺气体的纯度带来了更大的挑战。更多的工艺步骤意味着消耗更多的工艺气体。现在，即使气体供应中有微量污染物，也会对芯片性能产生不可忽略的影响。因此，工艺气体净化显的日益重要。山东气体提纯设备气体和化学品的纯度在先进半导体和存储设备的性能和可靠性方面发挥着重要作用。气体提纯设备公司为了保持竞争力，许多半导体制造商提高了产量，从而增加了气体的总消耗量。因此，对污染物采取必要的净化措施势在必行。

氦气提纯是一项国际前沿研究领域，采用的方法有低温冷凝、膜分离、变压吸附、化学吸附等方法。我国企业在低温研究的基础上，突破低温冷凝分离法的研究技术瓶颈，开发工业氦气膜分离提纯技术和设备，气体提纯设备公司与国际巨头在氦气提纯技术和设备方面展开竞争，并积极研究膜分离+低温分离的复合氦气分离方法，山东气体提纯设备结合膜分离高效性和低温分离高回收率和高纯度的特点，将氦气首先经过膜分离技术进行粗提纯，然后采用低温分离技术进行精提纯，满足工业领域节能与高纯的多重需要。

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分子筛纯化系统完成吸附杂质、净化空气是通过吸附剂来实现的。气体提纯设备公司在分子筛吸附器内的吸附床上充填的吸附剂主要为沸石分子筛和活性氧化铝，其中活性氧化铝主要是吸收水分，山东气体提纯设备分子筛吸附二氧化碳和乙炔等烃类杂质。在相对湿度100%(即饱和) 的空气中，活性氧化铝的吸湿性能更优于分子筛。在纯化器的吸附床下层用活性氧化铝吸附饱和空气中的水分后，待水气的浓度在氧化铝处降低后，再利用上层的分子筛进行深度吸附。分子筛吸附器净化程度可达出口空气露点及二氧化碳含量的工程指标。

山东气体提纯设备催化剂：可以催化H2，CO，烃类等还原性气体与O2结合生成水和CO2，一般用在杂质含量较高时，预处理掉大量的杂质。脱氧吸附剂：可以以化学反应的方式去除掉O2，以物理吸附方式去除掉水和CO2。一般经此工序后产气的纯度已经足够使用了。供应气体提纯设备吸气剂：吸气剂可以去除掉除了氩气，氦气等惰性气体以外的所有气体。（有些特制吸气剂也不会吸收H2）主要针对N2，CH4等。